 |
Исследования и разработки проводятся в чистых помещениях лабораторной гермозоны. Начало ее работы — весна 2007 г.
|
 |
Площадь чистых помещений составляет 820 м2.
|
 |
В распоряжении сотрудников отделения имеются современные ростовые установки молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ), обеспечивающие атомную точность при создании гетероструктур. Среди них единственная на сегодняшний день в России установка МПЭ полупромышленного типа с групповой загрузкой пластин Riber 49.
|
 |
также установка МПЭ экспериментально-исследовательского типа VEECO GEN III, оснащенная 12 источниками материалов.
|
